Zn（锌）Spin-on Glass Zn-640

Zn-640 是集高浓度 P 型锌掺杂源与扩散阻挡层于一体的旋涂玻璃，专为化合物半导体、LED、光电器件、功率器件设计，可在高温扩散中提供稳定锌源并防止锌逃逸，实现均匀、无梯度、高一致性的 P 型掺杂。

核心应用场景：

1、化合物半导体 P 型锌扩散（最主要用途）

GaAs、InP、GaP、AlGaAs、InGaAs 等 Ⅲ-Ⅴ 族器件          许总：15220133370

制备均匀、高浓度、无梯度的 P 型导电区

2、LED / LD / 光电探测器 P 型层制备

红光、红外 LED、光电二极管、探测器

目标浓度：5×101?–5×101? cm?3 完美匹配器件需求

3、高温扩散中防止锌逃逸（关键功能）

扩散时阻止 Zn 从表面逸出，避免掺杂不足

消除浓度梯度，保证方块电阻均匀、良率高

4、功率器件 & 射频器件 P 型掺杂

二极管、三极管、HEMT、整流器件、微波器件

高纯 <50 ppb，无杂质污染，适合车规、高可靠

5、扩散盖帽层配套使用

配合 NDG-2000 形成稳定扩散保护系统

防止掺杂损失、提升一致性、降低电阻波动

6、科研 / MPW 流片 / 小批量试制

液态旋涂，无需剧毒源、无需 CVD/PVD 设备

快速做 P 型掺杂、扩散、浓度分布验证

一、产品基本信息

产品名称：Spin-on Glass Zn-640

核心元素：Si、Zn、O、Cl

关键元素：Zn（锌）

生产厂商：Desert Silicon, Inc.

二、关键性能参数

表格

参数项 数值 / 规格

锌原子浓度 4×1021 atoms/cm3

粘度 0.90 ± 0.15 cps

旋涂厚度 1800 ?（180 nm）@4000 rpm

20℃保质期 3 个月

4℃保质期 9 个月

纯度等级 <1 ppm 或 <50 ppb

三、产品核心优势

扩散阻挡功能：有效防止基底中掺杂锌在高温扩散时向外逸出。

浓度精准可控：最终目标锌掺杂浓度稳定在5×101? ~ 5×101? atoms/cm3。

成膜均匀：涂层一致性优异，保证扩散均匀性与工艺重复性。

超高纯度：杂质含量可控至 <1 ppm 或 <50 ppb，满足高端半导体要求。

低熔点：熔点低于纯氧化硅，工艺兼容性更强。

四、典型应用说明

核心用途：化合物半导体P 型锌扩散掺杂工艺。

工作原理

表面提供4×1021 atoms/cm3高浓度锌源。

扩散过程中消除浓度梯度。

抑制锌从表面逸出，保障掺杂效率与目标浓度。

配套工艺：可搭配NDG-2000硅酸盐盖帽层协同使用。

五、包装与替代方案

包装规格：240ml、500ml、1L、2.5L、4L

替代产品：NDG-2000

可添加元素：As、Sb、Bi，适用于化合物半导体。

4. 关键问题

问题：Zn-640 的核心功能是什么，膜内锌原子浓度为多少？

答案：核心功能为P 型锌掺杂源 + 扩散阻挡层；膜内锌原子浓度为4×1021 atoms/cm3。

问题：Zn-640 可实现的最终锌掺杂浓度范围是多少，主要解决什么工艺问题？

答案：最终浓度范围为5×101? ~ 5×101? atoms/cm3；主要解决高温扩散时锌从表面逸出、浓度梯度不均的问题。

问题：Zn-640 在 4000rpm 转速下的成膜厚度是多少，纯度等级如何？

答案：4000rpm旋涂形成1800?（180nm）厚薄膜；纯度可达<1 ppm 或 <50 ppb。