玻璃中TiO?含量为 52 wt%（SOG Ti-140）
含 52 wt% TiO? 的钛掺杂旋涂玻璃，是高介电、高折射率、可白膜标记的多功能旋涂材料，主要用于高密度电容介质、光电器件光学匹配、晶圆白色标记、紫外防护及化合物半导体钝化层。
核心应用场景：
1、超高介电常数（高 k）电容介质层（最核心）
适用于 MIM 电容、MOS 电容、射频电容、模拟 / 混合信号 IC 许总：15220133370
介电常数高达 40，大幅提升电容密度、减小芯片面积
耐高温、漏电流低、可靠性高
2、高折射率光学匹配 / 耦合层
折射率 2.04，完美匹配半导体光器件、激光器、LED、PD
用于 光学耦合、波导包覆、增透膜、光路匹配
3、晶圆白色标记 / 边界 / 对准层
可形成稳定白色不透明膜，用于工艺分区、对准、掩膜、标识
耐高温、不脱落、兼容光刻 / 刻蚀 / 扩散工艺
4、紫外（UV）吸收保护涂层
强紫外吸收，保护 光敏器件、光刻区、光电芯片、功率器件
提升器件抗紫外老化能力
5、化合物半导体（GaN/GaAs/SiC）钝化 / 缓冲层
高 k 栅介质、表面钝化、应力缓冲
适用于 HEMT、功率器件、光电器件
6、光学薄膜：透明膜 / 散射膜可调
可通过工艺调控成致密透明膜或光散射膜
用于成像芯片、光学组件、背光结构
7、层间绝缘、沟槽填充与平坦化
半导体、MEMS、先进封装的 绝缘、隔离、平坦化
低温旋涂，不损伤敏感结构
一、产品基本信息
产品名称：SOG Ti-140
核心元素：Ti、Si、O
关键成分：玻璃中TiO?含量为 52 wt%
厂商：Desert Silicon, Inc.
二、关键性能参数
表格
参数项 数值
TiO?含量 52 wt%
介电常数 40
计算折射率（RI） 2.04
粘度 0.90 ± 0.25 cps
20℃保质期 3 个月
4℃保质期 9 个月
三、产品核心优势
优异的电容层间介质：介电常数高达 40，绝缘强度高，适合高密度电容制备。
成膜均匀：涂层一致性好，工艺稳定可靠。
高折射率：可匹配光电器件输入 / 输出接口，用于光学耦合与包覆。
白色标记涂层：可形成白色膜层，用于晶圆标记或光散射。
紫外吸收：可用于关键器件的紫外防护。
四、典型应用场景
半导体电容器：利用高介电常数与高绝缘特性制作 MIM/MOS/ 射频电容。
光电器件：用于光学输入 / 输出匹配、波导包覆层。
晶圆标记：形成白色边界，用于工艺定位与分区。
紫外防护：对敏感器件提供紫外吸收保护。
五、包装与替代方案
包装规格：240ml、500ml、1L、4L
替代产品：Ti-452
可改性元素：Y、Zr、Hf、Nb 及其混合物
4. 关键问题
问题：SOG Ti-140 的 TiO?含量、介电常数和折射率分别是多少？
答案：TiO?含量为52 wt%，介电常数40，计算折射率2.04。
问题：SOG Ti-140 相比普通钛掺杂旋涂玻璃，多出哪项重要功能？
答案：可形成白色涂层，用于晶圆标记或光散射，同时具备紫外吸收能力。
问题：SOG Ti-140 的主要应用领域和可替代产品是什么？
答案：主要用于半导体电容介质、光电器件匹配、晶圆标记、紫外防护；可替代产品为Ti-452。
