氧化钛旋涂玻璃（Spin-on-Glass）SOG Ti-1100
氧化钛旋涂玻璃是纯 TiO?体系的高 k、高折射率、紫外吸收型旋涂材料，主要用于高密度电容介质、光电器件光学匹配、太阳能电池减反膜、器件钝化及晶圆键合。
核心应用场景:
1、高 k（高介电常数）电容介质层（最核心）
MIM 电容、MOS 电容、射频电容、模拟 IC、混合信号芯片 许总：15220133370
高绝缘、低漏流、耐高温，大幅提升电容密度
2、光电器件高折射率匹配 / 耦合层
光通信器件、激光器、LED、PD、光电探测器
光学耦合、波导包覆、光路匹配、增透 / 高反膜
3、太阳能电池减反射涂层（AR Coating）
利用折射率 2.1 实现高效减反，提升光电转换效率
适用于晶硅、异质结、钙钛矿等太阳能电池
4、紫外（UV）吸收保护涂层
强紫外吸收，保护光敏器件、光刻区、光电芯片、功率器件
提升器件抗老化、抗紫外损伤能力
5、光学透明薄膜
致密透明、高折射率、低应力
用于光学组件、成像芯片、透明导电基底配套
6、晶圆键合中介层
硅片、化合物半导体、玻璃晶圆低温键合
提升附着力、均匀性、结构强度
7、半导体 / MEMS 绝缘、钝化、平坦化
层间绝缘、沟槽填充、表面钝化、应力缓冲
低温旋涂，不损伤敏感结构
8、化合物半导体（GaN、Ga?O?、SiC）配套
高 k 栅介质、表面钝化、缓冲层、阻挡层
适用于 HEMT、功率器件、光电器件
一、产品基本信息
产品名称：SOG Ti-1100
核心组成元素：Ti、O（纯氧化钛体系）
产品类型：氧化钛旋涂玻璃（Spin-on-Glass）
生产厂家：Desert Silicon, Inc.
二、关键性能参数
表格
参数项 数值 / 规格
折射率（RI） 2.1
粘度 0.95 ± 0.25 cps
20℃ 保质期 3 个月
4℃ 保质期 9 个月
三、产品核心优势
优异的电容层间介质：具备高介电常数与高绝缘强度，适合半导体电容制备。
涂层均匀性好：成膜一致性高，工艺稳定性强。
高折射率：可匹配半导体光输入 / 输出器件，用于光学耦合与包覆。
太阳能电池适配：高折射率适用于太阳能电池减反射涂层。
光学透明：可制备光学透明薄膜。
紫外吸收：可对关键器件提供紫外防护。
四、典型应用场景
半导体电容器：基于高介电、高绝缘特性制作各类电容结构。
光电器件：光学输入 / 输出接口匹配、波导包覆层。
太阳能电池：用作减反射涂层，提升光电转换效率。
紫外吸收保护：用于光敏器件与关键组件的紫外防护。
晶圆键合：可作为晶圆键合辅助薄膜使用。
五、包装与替代方案
包装规格：240ml、500ml、1L、4L
替代产品：Ti-452、Ti-100R、Ti-140R、Ti-1000
可添加改性元素： 钇（Y）、锆（Zr）、铪（Hf）、铌（Nb） 及其混合物
4. 关键问题
问题：SOG Ti-1100 的核心成分与其他钛系旋涂玻璃有何区别？
答案：SOG Ti-1100 的核心成分为Ti、O（纯氧化钛体系），不含硅元素，区别于 Ti-100、Ti-140 等钛硅氧化物产品。
问题：SOG Ti-1100 相比同系列产品新增了哪项重要应用？
答案：新增太阳能电池减反射涂层应用，利用其高折射率 2.1实现减反效果。
问题：SOG Ti-1100 的核心光学、粘度参数及保质期分别是多少？
答案：折射率2.1，粘度0.95±0.25 cps；20℃保质期 3 个月，4℃保质期 9 个月。
