AZ  MIR-700 系列光刻胶
中高解像度I线正型光刻胶（Medium~High Resolution i-line Positivetone Photoresist）
高感光度I线正型光刻胶，符合ULSI和VLSI制造过程中高感光度高分辨率的要求
AZ MIR700series are high sensitivity i-line positive-tone photoresist
which correspond to dem of high sensitivity high resolution in
manufacturing ULSI VLSI

特 征（FEATURES）
 1) 高感光度带来了高产出率
2) 线条与通孔均可应用
3) 推荐与AZ的ARC和RELACS共同使用
参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）
前烘             ：90℃ 60秒 (DHP)
曝光             ：I线步进式曝光机
曝光后烘烤  ：110℃ 60秒 (DHP)
显影             ：AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗             ：去离子水30秒
剥离             ：AZ剥离液及/或氧等离子体灰化

产品型号(PRODUCT RANGE)
 Product Name：      AZ MIR-701    AZ MIR-703
 Viscosity：                    14mPa            14mPa

深圳市芯泰科光电有限公司:光电材料、微电子材料、电子元器件、半导体产品、LED...
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