非掺杂氧化硅旋涂玻璃液态源（Spin-on Glass NDG-800）
NDG-800是 Desert Silicon 推出的非掺杂氧化硅旋涂玻璃，核心成分为Si、O，4000rpm旋涂可形成800?（80nm）薄膜，20℃保质期 3 个月、4℃9 个月，250℃起始固化、600℃及以上致密化，具备低温成膜、高纯度、涂覆均匀、易复配元素等优势，主要用于半导体氧化硅涂层、键合、防腐及低折射率减反膜场景。
一、产品基本信息
? 产品全称：Spin-on Glass NDG-800
? 产品类型：非掺杂氧化硅旋涂玻璃液态源
? 生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键信息
核心元素 Si、O（纯 SiO?体系）
折射率 1.45
介电常数 3.0
粘度 0.90 ± 0.15 cps
旋涂厚度 800 ?（80 nm）（4000 rpm）
固化温度 250℃ 起始，600℃及以上致密
保质期 20℃：3 个月；4℃：9 个月
三、产品优势
1. 简易氧化硅层制备，工艺简单易用
2. 低温成膜，兼容敏感工艺
3. 维护与使用成本更低
4. 涂层均匀性优异
5. 基础配方易于复配其他元素实现改性
6. 工艺稳定，不受流量影响
四、典型应用
? 核心用途：非掺杂氧化硅（SiO?）涂层
? 工艺特性：250℃烘烤形成低密度膜；600℃以上持续致密化；建议烘烤温度不低于后续工艺温度
? 适用场景：键合工艺、器件防腐保护、低折射率减反射涂层
? 特性：氧化硅膜熔点高，可添加元素降低熔点或调整折射率
五、包装、替代与可添加元素
? 包装规格：240ml、500ml、1L、2.5L、4L
? 替代产品：NDG-1000、NDG-2000、NDG-5000
? 可添加元素：Pb、Ge、Bi、Sn，支持多元素复配与化合物半导体专用配方
六、免责与安全提示
? 文档信息不提供任何明示或暗示担保
? 用户需自行验证适用性并承担使用风险
? 健康安全信息请查阅MSDS文件
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4. 关键问题
1. 问题：NDG-800 的成膜条件、厚度与固化温度区间是什么？
答案：在4000rpm旋涂可形成 800?（80nm） 薄膜；250℃ 开始固化，600℃及以上进一步致密化。
2. 问题：NDG-800 的产品定位、核心优势与典型应用有哪些？
答案：定位非掺杂氧化硅旋涂玻璃；优势为低温成膜、低成本、涂覆均匀、易复配；可用于氧化硅涂层、键合、防腐、减反膜。
3. 问题：NDG-800 的保质期、可改性元素与替代产品是什么？
答案：20℃保质期3 个月，4℃9 个月；可添加Pb、Ge、Bi、Sn等元素改性；替代产品为NDG-1000/2000/5000。
