AZ  SR 系 列 光 刻胶
应用于第五代以上液晶面板制造的Spin-less涂布正型光刻胶（Spin-less Coat Positive-tone Photoresist for
Over 5th Generation Flat Paner Displays）
AZ SR系列适用于第五代以上液晶面板Spin-less涂布工艺
AZ SR series have been developed optimized for spin-less coating for
over 5th generation substrate process
特 征（FEATURES）
1) 适用于Spin-less涂布方式
2) 与旋涂式光刻胶相比，有同样良好的涂布均匀性
3) 节省光刻胶使用量以及节约能量
4) 工艺窗口很宽
参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）
前烘           ：110℃ 90秒(DHP)
曝光           ：FPD曝光机
显影           ：AZ300MIF(TMAH2.38% 23℃ 60秒)
清洗           ：去离子水 30秒
后烘           ：120℃ 120秒(DHP)
剥离           ：AZ剥离液及/或高浓度碱性溶液
产品型号(PRODUCT RANGE)
Product Name：          AZ SR-100                      AZ SR-110                    AZ SR-210
 Viscosity：                                                   3~4mPa
产品感光度(sensitivity)
 Product Name：                AZ SR-100              AZ SR-110                  AZ SR-210
 Eo @ 1.5 μm：                     32~36 mJ/cm2 (depends on process conditions)

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