AZ  TFP-300 系列光刻胶
应用于液晶面板制造的旋涂式正型I线光刻胶（Spin Coating Positive-tone Photoresist for Flat Panel Display）
为液晶面板制造，特别为彩色滤光片的Black Matrix制造工艺优化，使用安全溶剂PGMEA
 Optimized for FPD production,especially for Black Matrix of color filter.
 The solvent is safe with PGMEA

特 征（FEATURES）
 1) 在大面积玻璃称底上实现良好的涂布特性
2) 在铬膜和ITO薄膜上实现高附着性
3) 同时实现高附着性和高可去除性
参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）
前烘           ：100℃ 90秒(DHP)
曝光           ：FPD曝光机
显影           ：氢氧化钾1.0wt% 23℃ 60秒
            AZ300MIF(TMAH2.38% 23℃ 60秒)
清洗           ：去离子水 30秒
后烘           ：120℃ 120秒(DHP)和/或15~30分钟(烘箱)
剥离           ：AZ剥离液及/或高浓度碱性溶液
产品型号(PRODUCT RANGE)
Product Name：       AZ TFP-310
 Viscosity：                   6mPa

深圳市芯泰科光电有限公司:光电材料、微电子材料、电子元器件、半导体产品、LED...
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