钛掺杂旋涂玻璃（SOG Ti-100）
钛掺杂旋涂玻璃是高介电、高折射率的低温旋涂材料，主要用于半导体高密度电容介质、光电器件光学匹配、紫外防护、晶圆键合、绝缘平坦化及光学薄膜制备。
核心应用场景：
1、半导体高密度电容器介质层（核心）
MIM 电容、MOS 电容、射频电容、模拟 IC、混合信号芯片 许总：15220133370
高 k 高绝缘，大幅提升电容密度、减小芯片面积
2、光电器件高折射率匹配层
光通信器件、激光器、LED、光电探测器
光学耦合、波导包覆、透镜匹配、增透膜
3、紫外（UV）吸收保护涂层
保护光敏芯片、光刻区、光电传感器、功率器件
强紫外吸收，提升器件稳定性
4、光学透明膜 / 散射膜
可通过工艺调控为全透明膜或光散射层
用于光学组件、成像芯片、背光结构
5、晶圆白色标记 / 边界标识层
形成稳定白色区域，用于工艺定位、分区、对准
兼容光刻、刻蚀等后续制程
6、晶圆键合中介层
硅片、化合物半导体晶圆低温键合
提升界面附着力、均匀性、气密性
7、层间绝缘、沟槽填充与平坦化
半导体、MEMS 器件绝缘、填充、平坦化
低温旋涂，不损伤敏感结构
8、化合物半导体配套（GaN/GaAs/SiC）
高 k 栅介质、缓冲层、钝化层
射频、功率、光电器件专用
一、产品基本信息
产品名称：SOG Ti-100
核心元素：Ti、Si、O
产品类型：钛掺杂旋涂玻璃
生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、关键性能参数
表格
参数项 数值 / 规格
折射率（RI） 2.10
粘度 0.90 ± 0.25 cps
20℃保质期 3 个月
4℃保质期 9 个月
三、核心优势
优异的电容器层间介质：高介电常数与高绝缘强度，适配半导体电容制备
涂层均匀：成膜一致性优异，保证工艺稳定性
高折射率：可匹配半导体光输入 / 输出器件，用于光学耦合与包覆
四、典型应用
半导体电容器：利用高介电与高绝缘特性制作各类电容结构
光电器件匹配：用于光输入 / 输出接口耦合、光学包覆层
晶圆键合：可作为晶圆键合辅助层使用
光学膜：可制备透明膜或光散射膜
紫外吸收：用于紫外敏感器件的防护
晶圆标记：可形成白色边界标识
五、包装与替代方案
包装规格：240ml、500ml、1L、4L
替代产品：Ti-452、Ti-1000
可添加元素：Y、Zr、Hf、Nb 及其混合物
4. 关键问题
问题：SOG Ti-100 的折射率与粘度分别是多少？
答案：折射率为2.10，粘度为0.90±0.25 cps。
问题：SOG Ti-100 核心的两大应用方向是什么？
答案：一是半导体电容器层间介质，二是光电器件光学匹配与包覆层。
问题：SOG Ti-100 可添加哪些元素进行改性，有哪些替代产品？
答案：可添加钇（Y）、锆（Zr）、铪（Hf）、铌（Nb）；替代产品为Ti-452、Ti-1000。
