非掺杂氧化硅旋涂玻璃液态源（Spin-on Glass NDG-500M）
NDG-500M是 Desert Silicon 推出的非掺杂纳米级氧化硅旋涂玻璃，核心成分为Si、O，3000rpm旋涂可形成500?（50nm）薄膜，20℃保质期 3 个月、4℃9 个月，250℃起始固化、600℃以上致密化，具备纳米级平坦化、低温成膜、高纯度、易复配等优势，主要用于MEMS、表面平坦化、微细间隙填充等非掺杂氧化硅涂层场景。
一、产品基本信息
? 产品全称：Spin-on Glass NDG-500M
? 产品类型：非掺杂氧化硅旋涂玻璃液态源
? 生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键信息
目标元素 Si、O（纯氧化硅体系）
折射率 1.44
介电常数 3.0
粘度 0.80 ± 0.15 cps
旋涂成膜厚度 500 ?（50 nm）（3000 rpm）
固化起始温度 250℃
致密化温度 600℃及以上
保质期 20℃：3 个月；4℃：9 个月
纯度 高纯度（低 ppb 级）
三、产品优势
1. 实现纳米级精细化平坦化
2. 低温制备氧化硅层，工艺兼容性强
3. 维护与使用成本更低
4. 高纯度材料，杂质控制在低 ppb 范围
5. 涂层均匀，覆盖一致性好
6. 基础配方易于复配其他元素改性
7. 工艺稳定，不受流量影响
8. 是制备氧化硅层的简易方法
四、典型应用
? 应用领域：MEMS 器件、表面平坦化、微细间隙填充
? 工艺特性：250℃烘烤形成低密度薄膜；升温至 600℃以上，膜层持续致密；建议按工艺温度烘烤
? 特性适配：低密度膜层适用于键合工艺；氧化硅膜熔点高，可添加元素降低熔点或调整折射率
五、包装、替代与可添加元素
? 包装规格：240ml、500ml、1L、2.5L、4L
? 替代产品：NDG-1000、NDG-2000、NDG-5000
? 可添加元素：Pb、Ge、Bi、Sn，支持多元素复配与化合物半导体专用配方
六、免责与安全提示
? 文档信息不提供任何明示或暗示担保
? 用户需自行验证适用性并承担使用风险
? 健康安全信息请查阅MSDS文件
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4. 关键问题
1. 问题：NDG-500M 的核心成分、成膜参数与固化温度区间是什么？
答案：核心成分为Si、O纯氧化硅；3000rpm旋涂形成 500?（50nm） 薄膜；250℃ 开始固化，600℃以上进一步致密。
2. 问题：NDG-500M 的产品定位、核心优势与应用场景有哪些？
答案：定位非掺杂氧化硅旋涂玻璃；优势为纳米平坦化、低温成膜、高纯度、易复配；主要用于MEMS、表面平坦化、微细间隙填充。
3. 问题：NDG-500M 的纯度、保质期与可改性方案是什么？
答案：纯度为低 ppb 级高纯度；20℃保质期3 个月、4℃9 个月；可添加Pb、Ge、Bi、Sn等元素调整熔点与光学性能。
