非掺杂氧化硅旋涂玻璃液态源（Spin-on Glass NDG-3000）
NDG-3000是 Desert Silicon 推出的非掺杂氧化硅旋涂玻璃，核心成分为Si、O，4000rpm旋涂可形成2800?（280nm）薄膜，折射率 1.46、介电常数 3.0，250℃起始固化、600℃以上致密化，20℃保质期 3 个月、4℃9 个月，具备低温成膜、高纯度、涂覆均匀、易复配等优势，适用于氧化硅涂层、键合、防腐、低折射率减反膜场景。
一、产品基本信息
? 产品全称：Spin-on Glass NDG-3000
? 产品类型：非掺杂氧化硅旋涂玻璃液态源
? 生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键信息
核心元素 Si、O（纯 SiO?体系）
折射率 1.46
介电常数 3.0
粘度 0.90 ± 0.15 cps
旋涂厚度 2800 ?（280 nm）（4000 rpm）
固化温度 250℃ 起始，600℃及以上致密
保质期 20℃：3 个月；4℃：9 个月
掺杂类型 非掺杂
三、产品优势
1. 简易氧化硅层制备，工艺简单易用
2. 低温成膜，兼容热敏器件与敏感制程
3. 维护与使用成本更低
4. 高纯度材料，满足半导体应用要求
5. 涂层均匀性优异，覆盖一致性好
6. 基础配方易于复配其他元素实现改性
7. 工艺稳定，不受流量影响
四、典型应用
? 核心用途：非掺杂氧化硅（SiO?）涂层
? 工艺特性：250℃烘烤形成低密度薄膜；升温至600℃以上膜层持续致密；建议烘烤温度不低于后续工艺温度
? 适用场景：键合工艺、器件防腐保护、低折射率减反射涂层
? 改性能力：氧化硅膜熔点高，可添加元素降低熔点、调整折射率等性能
五、包装、替代与可添加元素
? 包装规格：240ml、500ml、1L、2.5L、4L
? 替代产品：NDG-2000、NDG-5000、NDG-7000
? 可添加元素：Pb、Ge、Bi、Sn，支持多元素复配与化合物半导体专用配方
六、免责与安全提示
? 文档信息不提供任何明示或暗示担保
? 用户需自行验证产品适用性并承担使用风险
? 健康安全信息请查阅MSDS文件
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4. 关键问题
1. 问题：NDG-3000 的成膜条件、厚度与光学 / 电学参数是什么？
答案：4000rpm旋涂形成2800?（280nm）薄膜；折射率 1.46，介电常数 3.0，粘度0.90±0.15cps。
2. 问题：NDG-3000 的固化温度区间与主要应用场景有哪些？
答案：250℃开始固化，600℃及以上进一步致密；可用于氧化硅涂层、键合、器件防腐、低折射率减反膜。
3. 问题：NDG-3000 的产品定位、保质期与可改性方案是什么？
答案：定位非掺杂氧化硅旋涂玻璃；20℃保质期 3 个月、4℃9 个月；可添加Pb、Ge、Bi、Sn等元素调整熔点与折射率。
