硼掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源(Spin-on-Glass B-1000HP)

一、产品基本信息
? 产品全称：Spin-on-Glass B-1000HP
? 产品类型：硼掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源
? 生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键信息
目标元素 Si、O、B
硼原子浓度 2.9×1021 atoms/cm3
薄膜核心元素 硼（Boron）
粘度 1.2 cps
旋涂成膜厚度 3400 ?（3000 rpm）
固化温度区间 150–200℃ 起始，650℃及以上致密
保质期 20℃：3 个月；4℃：9 个月
纯度等级 低 PPB 级别
三、产品优势
1. 实现轻浓度硼掺杂
2. 工艺简化，仅需一根推入管
3. 维护与使用成本更低
4. 采用高纯度材料，达低 PPB 级
5. 成膜均匀
6. 熔点低于纯氧化硅
7. 工艺稳定，不受流量影响
四、典型应用
? 应用领域：半导体掺杂
? 工艺特性：150–200℃固化形成低密度固态膜；升温至 650℃以上，膜层密度持续提升；建议按后续工艺温度烘烤；掺杂完成后玻璃层可去除
? 工艺优势：玻璃态硼比固态源更易加工、更洁净
五、包装、替代与可添加元素
? 包装规格：240ml（8oz）、480ml（16oz），支持大包装定制
? 替代产品：B-1200、B-1500
? 可添加 P 型元素：Al、Ga、In，支持多元素复配，兼容化合物半导体掺杂
六、免责与安全提示
? 文档信息不提供任何明示或暗示担保
? 用户需自行验证适用性并承担使用风险
? 健康安全信息请查阅MSDS文件
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4. 关键问题
1. 问题：B-1000HP 的核心掺杂元素、浓度与成膜参数是什么？
答案：核心掺杂元素为硼（B），浓度2.9×1021 atoms/cm3；3000rpm旋涂可形成3400?厚薄膜。
2. 问题：B-1000HP 的固化温度区间、工艺优势是什么？
答案：150–200℃ 开始固化，650℃以上进一步致密；相比固态源，玻璃态硼更易加工、更洁净。
3. 问题：B-1000HP 的包装、替代产品与可掺杂元素有哪些？
答案：包装有240ml、480ml及大包装；替代产品为B-1200、B-1500；可添加Al、Ga、In等 P 型元素。