锂掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源（Spin-on-Glass Li-260N）

Li-260N是 Desert Silicon 推出的锂掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源，核心含Si、Li、O，锂原子浓度为 4×1021 atoms/cm3，3000rpm旋涂可形成1800?厚薄膜，20℃保质期 3 个月、4℃9 个月，200℃起始固化、650℃以上致密强化，纯度可达<1ppm 或 < 50ppb，主要用于半导体锂掺杂，可实现5E+17~5E+19的终目标掺杂浓度，成膜均匀、高纯度。

一、产品基本信息
? 产品全称：Spin-on-Glass Li-260N
? 产品类型：锂掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源
? 生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键信息
目标元素 Si、Li、O
锂原子浓度 4×1021 atoms/cm3
折射率 1.46
粘度 0.9 cps
旋涂成膜厚度 1800 ?（3000 rpm）
固化起始温度 200℃
致密化温度 650℃及以上
保质期 20℃：3 个月；4℃：9 个月
纯度等级 <1 ppm 或 <50 ppb
三、产品优势
1. 薄膜涂覆均匀，一致性好
2. 采用高纯度原材料
3. 可提供 <1 ppm 或 <50 ppb 两种超高纯度规格
四、典型应用
? 应用领域：半导体锂掺杂工艺
? 工艺特性：200℃开始固化形成低密度固态薄膜；升温至650℃以上，薄膜密度持续提升
? 掺杂特性：源浓度高，可在基底表面形成高浓度掺杂层，推入扩散后实现5×101?~5×101?的终锂掺杂浓度
五、包装与定制方案
? 包装规格：240ml、500ml、1L、2.5L、4L
? 定制选项：支持其他目标浓度定制；可添加化合物半导体专用掺杂元素
六、免责与安全提示
? 文档信息不提供任何明示或暗示担保
? 用户需自行验证产品适用性并承担使用风险
? 健康与安全信息请查阅MSDS文件
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4. 关键问题
1. 问题：Li-260N 的核心掺杂元素、浓度与成膜条件是什么？
答案：核心掺杂元素为锂（Li），浓度4×1021 atoms/cm3；3000rpm旋涂可形成1800?厚的固化薄膜。
2. 问题：Li-260N 的固化温度区间、可实现的终掺杂浓度范围是多少？
答案：200℃开始固化，650℃以上进一步致密；可实现5×101? ~ 5×101? atoms/cm3的终锂掺杂浓度。
3. 问题：Li-260N 的纯度规格、保质期与包装规格有哪些？
答案：纯度可达 <1ppm 或 < 50ppb；20℃保质期3 个月，4℃9 个月；包装覆盖240ml~4L多种规格。