SOG Ti-452（纯钛氧化物旋涂玻璃）
纯钛氧化物旋涂玻璃（Ti?452）是超高介电常数、超高折射率的低温旋涂 TiO?材料，主要用于半导体高密度电容、光电器件光学匹配、紫外防护、晶圆标记及高端器件绝缘平坦化。
核心应用场景：
1、半导体超高密度电容器介质层（核心用途） 许总：15220133370
MIM、MOS、射频电容、模拟 / 混合信号 IC 电容
介电常数 k=78，大幅提升电容密度、减小芯片面积
高绝缘强度，适合高压、高可靠电容
2、光通信 / 光电器件高折射率匹配层
折射率高达 2.5，完美匹配高光半导体器件
光波导、光耦合层、透镜匹配、光学包覆、减反膜
3、晶圆白色标记 / 散射层
可形成白色涂层，用于晶圆区域标识、边界区分、光散射
不影响光刻、兼容后续工艺
4、紫外（UV）吸收防护涂层
强紫外吸收，保护光敏器件、光电芯片、光刻区
用于传感器、光学组件、功率器件紫外防护
5、层间绝缘 & 沟槽填充 & 表面平坦化
半导体、MEMS 器件高温绝缘、沟槽填充、全局平坦化
致密性好、漏电极低
6、晶圆键合中介层
提升键合强度、界面均匀性、气密性
适用于硅片、GaN、GaAs、SiC 晶圆键合
7、化合物半导体功率 / 射频 / 光电器件
GaN、GaAs、SiC 器件栅介质、缓冲层、绝缘层
高频、高压、高功率器件配套高 k 介质
一、产品基本信息
产品全称：SOG Ti-452（纯钛氧化物旋涂玻璃）
核心组分：Ti、O
二氧化钛含量：100 wt%
生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、关键性能参数
表格
参数项 数值 / 规格
TiO?含量 100 wt%
介电常数 78
折射率 2.5
粘度 0.90 ± 0.25 cps
20℃保质期 3 个月
4℃保质期 9 个月
三、产品核心优势
优异的电容器层间介质：超高介电常数与高绝缘强度，适配高密度电容制备
涂层均匀性好：成膜一致性优异，满足半导体制程要求
高折射率：可匹配半导体光输入 / 输出器件，用于光学耦合与包覆层
白色涂层：可用于晶圆标记或光散射场景
紫外吸收：适用于对紫外敏感的关键器件防护
四、典型应用说明
半导体电容器：依托超高介电常数与绝缘强度，用于各类电容结构
光电器件耦合：高折射率适配光输入 / 输出接口，制作波导与包覆层
晶圆标记：工艺可调，形成白色边界与标识
紫外防护：吸收紫外光，保护光敏器件与结构
五、包装与配套方案
包装规格：240ml、500ml、1L、4L
替代产品：Ti-140R
可添加元素：钇 (Y)、锆 (Zr)、铪 (Hf)、铌 (Nb)，支持多元素复配与化合物半导体定制
六、免责与安全提示
文档信息不提供任何明示或暗示担保；用户需自行验证产品适用性；健康安全信息请查阅MSDS文件。
4. 关键问题
问题：Ti-452 的 TiO?含量、介电常数与折射率分别是多少？
答案：TiO?含量为100 wt%，介电常数为78，折射率为2.5。
问题：Ti-452 的核心优势与主要应用场景是什么？
答案：核心优势为超高介电常数、高绝缘强度、高折射率、白色涂层、紫外吸收；主要用于半导体高密度电容器介质层与光电器件光学匹配。
问题：Ti-452 的替代产品有哪些，可添加哪些元素进行改性？
答案：替代产品为Ti-140R；可添加 钇 (Y)、锆 (Zr)、铪 (Hf)、铌 (Nb) 等元素进行改性。
