深圳市芯泰科光电有限公司
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公司名称:深圳市芯泰科光电有限公司
联 系 人:许明久
联系电话:0755-28190294
腾 讯 QQ:332767299
公司地址:深圳市龙华区大浪街道陶元社区中信科创园菊园411
产品分类:电子元器件
发布日期:2026/7/20 20:08:09
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AZ  TFP-600 系 列 光 刻 胶
应用于液晶面板制造的超高感光度,旋涂式正型光刻胶( Ultra High Sensitivity Spin Coating
 Positive-tone Photoresist For Flat Panel Display)
超高感光度及超高附着性正型光刻胶,适用于液晶面板制造,特别为
TFT制造工艺优化,使用安全溶剂PGMEA
Ultra High Sensitivity & High adhesion property positive resist,Optimized For FPD manufacturing,especially TFT manufacturing.
 The solvent is safe with PGMEA.特 征(FEATURES)

特 征(FEATURES)
1) 由于高感光度和高残膜率实现高产出率
2) 在显影及蚀刻时在各种金属膜上实现高附着性
3) 同时实现高附着性和高可去除性
参考工艺条件(SAMPLE PROCESS CONDITIONS)
前烘           :100℃ 90秒(DHP)
曝光           :FPD曝光机(G线+H线)
显影           :AZ300MIF(TMAH2.38% 23℃60秒)
清洗           :去离子水 30秒
后烘           :120℃ 120秒(DHP)
剥离           :AZ剥离液
产品型号(PRODUCT RANGE)
 Product Name:                           AZ TFP-650F5                             AZ TFP-650H2
 Viscosity:                                        15mPa                                          15mPa

 Photo-Sensitivity

                                                         Eop                    Remained Film Thickness
Conventional Resisit:                   40mj/cm2                         95%
AZ TFP-650F5:                                22mj/cm2                        93%

深圳市芯泰科光电有限公司:光电材料、微电子材料、电子元器件、半导体产品、LED...
主要客户群体:三安光电、中国中材、中谷光电、圆融光电、映瑞光电、奥伦德、中图光电、太时芯光、新广联、北方华创、量晶、享通、SINOEPI、华磊、上城、蓝晶、普吉、神光安瑞、迪源、华灿、京晶、蓝光、亁照、汉莱、士兰微北京大学、清华大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中山大学、西安交大、南京大学、深圳大学先进院等大学研究所.
许总 15220133370 QQ:332767299 0755-28190294


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