锂磷双掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源（Spin-on-Glass LiP-864）

LiP-864是 Desert Silicon 推出的锂磷等比例双掺杂硅酸盐旋涂玻璃，核心含Si、O、Li、P，Li 与 P 浓度均为 4×1021 atoms/cm3、各占膜层 50%，3000rpm旋涂成膜2900?，20℃保质期 3 个月、4℃9 个月，200℃起始固化、650℃以上致密强化，主打高浓度锂磷共掺杂，用于半导体特殊科研掺杂，具备成膜均匀、高纯度、维护成本低等优势。

一、产品基本信息
? 产品全称：Spin-on-Glass LiP-864
? 产品类型：锂磷双掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源
? 生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键信息
目标元素 Si、O、Li、P
锂原子浓度 4×1021 atoms/cm3
磷原子浓度 4×1021 atoms/cm3
膜中元素占比 锂50%、磷50%
粘度 1.3 cps
折射率 1.46
旋涂成膜厚度 2900 ?（3000 rpm）
固化起始温度 200℃
致密化温度 650℃及以上
保质期 20℃：3 个月；4℃：9 个月
纯度等级 <1 ppm 或 <50 ppb
三、产品优势
1. 实现高浓度锂、磷共掺杂
2. 薄膜涂覆均匀，一致性优异
3. 采用高纯度原料，杂质控制严格
4. 可提供 <1 ppm 或 <50 ppb 超高纯度规格
5. 维护与使用成本更低
四、典型应用
? 应用领域：半导体特殊科研掺杂
? 工艺特性：200℃开始固化形成低密度固态薄膜；烘烤至650℃以上，薄膜密度持续提升；建议按后续工艺温度烘烤
? 掺杂特性：源浓度高，表面形成高浓度掺杂层，推入扩散后进入基底；掺杂完成后玻璃层可去除
五、包装、替代与定制方案
? 包装规格：240ml、500ml、1L、2.5L、4L
? 替代产品：LiP-260，支持其他浓度定制
? 定制选项：支持多元素复配，可提供化合物半导体专用元素
六、免责与安全提示
? 文档信息不提供任何明示或暗示担保
? 用户需自行验证产品适用性并承担使用风险
? 健康与安全信息请查阅MSDS文件
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4. 关键问题
1. 问题：LiP-864 的掺杂元素、浓度与成膜参数是什么？
答案：为锂（Li）、磷（P）双掺杂，浓度均为4×1021 atoms/cm3；3000rpm旋涂可形成2900?厚薄膜。
2. 问题：LiP-864 的固化温度、应用场景与核心优势是什么？
答案：200℃起始固化，650℃以上致密；用于半导体特殊科研掺杂；核心优势是高浓度等比例锂磷共掺杂、高纯度、低成本。
3. 问题：LiP-864 的纯度、保质期与替代方案有哪些？
答案：纯度可达 <1ppm 或 < 50ppb；20℃保质期3 个月、4℃9 个月；替代产品为LiP-260，支持浓度定制。