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新疆和田地区和田县智能传感器芯片材料实验用2026最专业推荐
高纯重浓度硒(Se)掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源(Spin-on Glass Se-432HP)
高纯重浓度硒掺杂旋涂玻璃液态源,专为红外光电器件、第三代半导体、先进硅基功率器件提供高纯度、高均匀、高浓度硒扩散掺杂,是低温、安全、无剧毒气源的新型高端掺杂解决方案。
一、核心应用领域
1、红外光电器件(核心用途)
红外探测器、光电二极管、光敏器件、红外成像芯片 许总:15220133370
硒掺杂可调控能带结构、红外吸收、载流子寿命
提升器件响应度、灵敏度、信噪比
2、第三代半导体掺杂(SiC / GaN / GaAs)
用于N 型重掺杂、欧姆接触层、缓冲层、电流限制层
提升高频、大功率器件的导电性与稳定性
3、先进硅基半导体:深能级掺杂与缺陷调控
用于载流子寿命控制、漏电、击穿电压优化
适用于高压二极管、功率器件、辐射探测器等
4、光电子、量子器件与新型半导体研究
硒作为特殊掺杂剂用于新型光电、光伏、自旋电子器件
实验室、研究所、MPW 流片小批量试制
5、MEMS 与微结构器件
低温旋涂成膜(200℃起固化),不损伤微结构
兼顾掺杂、钝化、表面保护一体化工艺
6、化合物半导体外延 / 异质结界面改性
提供高纯、均匀、稳定的硒源
降低接触电阻、改善界面态、提升器件良率
一、产品基本信息
产品全称:Spin-on Glass Se-432HP
产品类型:高纯重浓度硒(Se)掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源
生产厂商:Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键信息
核心元素 Se、Si、O
硒原子浓度 4×1021 atoms/cm3
薄膜核心元素 硒(Selenium)
粘度(635nm) 0.9 cps
折射率(635nm) 1.5
旋涂成膜厚度 140 nm(3000 rpm)
固化起始温度 200℃
致密化温度 650℃及以上
保质期 20℃:3 个月;4℃:9 个月
纯度等级 <1 ppm 或 <50 ppb
三、产品核心优势
重浓度硒掺杂,满足半导体高剂量硒掺杂需求
薄膜涂覆均匀,一致性优异
高纯度材料,杂质控制严格
熔点低于纯氧化硅,工艺兼容性更好
工艺稳定,不受流量影响
可提供 <1 ppm 或 <50 ppb 超高纯度规格
四、典型应用说明
应用领域:半导体硒掺杂工艺
固化特性:200℃开始固化形成低密度固态薄膜;烘烤至650℃以上,薄膜持续致密
工艺建议:若保留玻璃层,烘烤温度不低于后续制程温度
后处理:掺杂扩散完成后玻璃层可去除
五、包装、替代与可添加元素
包装规格:240ml、500ml、1L、2.5L、4L
替代产品:S-237HP、Te-432HP
定制选项:支持多元素复配,可提供化合物半导体专用元素配方
六、免责与安全提示
文档信息不提供任何明示或暗示担保
用户需自行验证产品适用性并承担使用风险
健康与安全信息请查阅MSDS文件
4. 关键问题
问题:Se-432HP 的核心掺杂元素、浓度与成膜参数是什么?
答案:核心掺杂元素为硒(Se),浓度4×1021 atoms/cm3;3000rpm旋涂可形成140nm厚薄膜,粘度0.9cps,折射率1.5。
问题:Se-432HP 的固化温度区间、工艺特点与核心优势有哪些?
答案:200℃起始固化,650℃以上致密化;工艺特点为低温固化、掺杂后玻璃可去除;核心优势是重浓度硒掺杂、高纯度、成膜均匀、工艺稳定。
问题:Se-432HP 的纯度规格、保质期与可替代产品分别是什么?
答案:纯度可达 <1ppm 或 < 50ppb;20℃保质期 3 个月、4℃9 个月;可替代产品为S-237HP、Te-432HP。