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中浓度钇掺杂硅酸盐旋涂玻璃中浓度钇掺杂旋涂玻璃是高纯高温稳定的旋涂掺杂源，主要用于第三代半导体器件钝化与栅介质硅基器件缺陷钝化高温绝缘层及超导薄膜前驱制备。核心应用场景第三代半导体器件许总用作栅介质钝化层绝缘缓冲层栅极绝缘改性提升器件耐高温抗漏电耐压长期可靠性适用于功率器件硅基半导体掺杂与界面改性用
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