发布日期：2026/6/8 2:21:32
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硼磷硅酸盐旋涂玻璃液态源（Spin-on-Glass BPSG-50）
BPSG-50是 Desert Silicon 公司推出的硼磷硅酸盐旋涂玻璃，核心含Si、O、B、P，硼浓度2.0E+21 atoms/cm3、磷浓度4.0E+21 atoms/cm3，3000rpm旋涂成膜2800?，200℃起始固化、650℃以上强化，粘度1.1cps，20℃保质期 3 个月、4℃9 个月，主打中等浓度硼磷共掺杂，用于半导体回流工艺，具备高纯度、成膜均匀、熔点更低、工艺稳定等优势。
一、产品基本信息
? 产品全称：Spin-on-Glass BPSG-50
? 产品类型：硼磷硅酸盐旋涂玻璃液态源
? 生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键数值
目标元素 Si、O、B、P
硼原子浓度 2.0×1021 atoms/cm3
磷原子浓度 4.0×1021 atoms/cm3
薄膜核心元素 硼、磷
粘度 1.1 cps
旋涂成膜厚度 2800 ?（3000 rpm）
固化起始温度 200℃
强化烘烤温度 650℃及以上
保质期 20℃：3 个月；4℃：9 个月
纯度等级 <1 ppm 或 <50 ppb
三、产品优势
1. 提供中等浓度硼磷共掺杂能力
2. 工艺简化，仅需一根推入管
3. 维护与使用成本更低
4. 采用高纯度材料
5. 成膜均匀
6. 熔点低于纯氧化硅
7. 工艺稳定，不受流量影响
8. 可提供 <1 ppm 或 <50 ppb 超高纯度规格
四、典型应用
? 应用领域：半导体回流（reflow）工艺
? 工艺特性：200℃开始固化形成低密度固态膜；升温至 650℃以上，膜层强度持续提升；建议按后续工艺温度烘烤。
五、包装与替代方案
? 包装规格：240ml、500ml、1L、2.5L、4L
? 替代产品：BPSG-839
? 定制选项：支持其他元素添加与配方定制
六、免责与安全提示
? 文档信息不提供任何明示或暗示担保
? 用户需自行验证适用性并承担使用风险
? 健康安全信息请查阅MSDS文件
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4. 关键问题
1. 问题：BPSG-50 的核心掺杂元素、浓度与成膜条件是什么？
答案：核心为硼（B）、磷（P）共掺杂，硼浓度2.0×1021 atoms/cm3、磷浓度4.0×1021 atoms/cm3；3000rpm旋涂可形成2800?厚薄膜。
2. 问题：BPSG-50 的固化温度区间、应用场景与纯度等级是什么？
答案：200℃开始固化，650℃以上强化；用于半导体回流工艺；纯度可达 <1ppm 或 < 50ppb。
3. 问题：BPSG-50 的核心优势、保质期与替代产品有哪些？
答案：优势为中等硼磷共掺杂、低成本、工艺稳定、高纯度；20℃保质期3 个月、4℃9 个月；替代产品为BPSG-839。
