广东省佛山市高明区科研院所实验用电话

发布日期：2026/6/7 1:23:47

硼掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源（Spin-on-Glass B-750HP）

一、产品基本信息
? 产品全称：Spin-on-Glass B-750HP
? 产品类型：硼掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源
? 生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键数值
目标元素 Si、O、B
硼原子浓度 3.5×101? atoms/cm3
薄膜核心元素 硼（Boron）
粘度 1.0 cps
折射率（n） 1.46
旋涂厚度 1800 ?（3000 rpm）
固化起始温度 200℃
强化温度 650℃及以上
保质期 20℃：3 个月；4℃：9 个月
三、产品优势
1. 实现轻浓度硼掺杂
2. 工艺简化，仅需一根推入管
3. 维护与使用成本更低
4. 采用高纯度材料，达低 PPB 级别
5. 成膜均匀
6. 熔点低于纯氧化硅
7. 工艺稳定，不受流量影响
四、典型应用
? 应用领域：半导体掺杂、太阳能电池背接触
? 工艺特性：200℃开始固化形成低密度固态膜；升温至 650℃以上，膜层强度持续提升；建议按后续工艺温度烘烤；掺杂完成后玻璃层可去除
? 工艺优势：玻璃态硼比固态源更易、更洁净地推入，可实现更高掺杂浓度
五、包装、替代与可添加元素
? 包装规格：240ml、500ml、1L、2.5L、4L
? 替代产品：B-1000、B-1200、B-1500
? 可添加元素：Al、Ga、In，支持多元素复配；硅掺杂与化合物半导体掺杂专用元素可选
六、免责与安全提示
? 文档信息不提供任何明示或暗示担保
? 用户需自行验证适用性并承担使用风险
? 健康安全信息请查阅MSDS文件
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4. 关键问题
1. 问题：B-750HP 的核心掺杂元素、浓度与成膜条件是什么？
答案：核心掺杂元素为硼（B），浓度3.5×101? atoms/cm3；3000rpm旋涂可形成1800?厚薄膜。
2. 问题：B-750HP 的固化温度区间、应用场景与工艺优势是什么？
答案：200℃开始固化，650℃以上强化；用于半导体与太阳能背接触；优势是比固态源更洁净、易推入、可实现更高浓度。
3. 问题：B-750HP 的核心优势、保质期与替代产品有哪些？
答案：优势为轻掺杂、低成本、高纯度、工艺稳定；20℃保质期3 个月、4℃9 个月；替代产品为B-1000、B-1200、B-1500。