
发布日期:2026/6/6 19:46:33
浏览次数: 点赞数: 收藏数: 关注数: 【赞一个】 【举报】 【收藏】 【关注】非掺杂氧化硅旋涂玻璃液态源(Spin-on Glass NDG-3000)
NDG-3000是 Desert Silicon 推出的非掺杂氧化硅旋涂玻璃,核心成分为Si、O,4000rpm旋涂可形成2800?(280nm)薄膜,折射率 1.46、介电常数 3.0,250℃起始固化、600℃以上致密化,20℃保质期 3 个月、4℃9 个月,具备低温成膜、高纯度、涂覆均匀、易复配等优势,适用于氧化硅涂层、键合、防腐、低折射率减反膜场景。
一、产品基本信息
? 产品全称:Spin-on Glass NDG-3000
? 产品类型:非掺杂氧化硅旋涂玻璃液态源
? 生产厂商:Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键信息
核心元素 Si、O(纯 SiO?体系)
折射率 1.46
介电常数 3.0
粘度 0.90 ± 0.15 cps
旋涂厚度 2800 ?(280 nm)(4000 rpm)
固化温度 250℃ 起始,600℃及以上致密
保质期 20℃:3 个月;4℃:9 个月
掺杂类型 非掺杂
三、产品优势
1. 简易氧化硅层制备,工艺简单易用
2. 低温成膜,兼容热敏器件与敏感制程
3. 维护与使用成本更低
4. 高纯度材料,满足半导体应用要求
5. 涂层均匀性优异,覆盖一致性好
6. 基础配方易于复配其他元素实现改性
7. 工艺稳定,不受流量影响
四、典型应用
? 核心用途:非掺杂氧化硅(SiO?)涂层
? 工艺特性:250℃烘烤形成低密度薄膜;升温至600℃以上膜层持续致密;建议烘烤温度不低于后续工艺温度
? 适用场景:键合工艺、器件防腐保护、低折射率减反射涂层
? 改性能力:氧化硅膜熔点高,可添加元素降低熔点、调整折射率等性能
五、包装、替代与可添加元素
? 包装规格:240ml、500ml、1L、2.5L、4L
? 替代产品:NDG-2000、NDG-5000、NDG-7000
? 可添加元素:Pb、Ge、Bi、Sn,支持多元素复配与化合物半导体专用配方
六、免责与安全提示
? 文档信息不提供任何明示或暗示担保
? 用户需自行验证产品适用性并承担使用风险
? 健康安全信息请查阅MSDS文件
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4. 关键问题
1. 问题:NDG-3000 的成膜条件、厚度与光学 / 电学参数是什么?
答案:4000rpm旋涂形成2800?(280nm)薄膜;折射率 1.46,介电常数 3.0,粘度0.90±0.15cps。
2. 问题:NDG-3000 的固化温度区间与主要应用场景有哪些?
答案:250℃开始固化,600℃及以上进一步致密;可用于氧化硅涂层、键合、器件防腐、低折射率减反膜。
3. 问题:NDG-3000 的产品定位、保质期与可改性方案是什么?
答案:定位非掺杂氧化硅旋涂玻璃;20℃保质期 3 个月、4℃9 个月;可添加Pb、Ge、Bi、Sn等元素调整熔点与折射率。