高纯高浓度锌掺杂旋涂玻璃（掺杂源 + 扩散阻挡层）Spin-on-Glass Zn-640HP

高纯高浓度锌掺杂旋涂玻璃是集高浓度 P 型掺杂源与扩散阻挡层于一体的旋涂材料，主要用于化合物半导体、LED、光电器件、功率器件的高精度 P 型锌扩散，防止锌逃逸并保证掺杂均匀稳定。

核心应用场景：

1、化合物半导体 P 型掺杂（最核心用途）

GaAs、InP、GaP、GaN、ZnO 等器件P 型区扩散           许总：15220133370

提供高浓度、均匀、稳定的 Zn 掺杂源

2、高温扩散中防止锌逃逸（关键功能）

扩散时阻止 Zn 从表面逸出，避免掺杂浓度不足

消除浓度梯度，让方块电阻更均匀

3、LED、光电探测器、激光器件

红光 / 红外 LED、光电二极管、探测器 P 型层制备

目标浓度：5×101?–5×101? cm?3 完美匹配器件需求

4、功率器件 & 射频器件 P 型掺杂

二极管、三极管、HEMT、整流器件

高纯（<50 ppb）无杂质污染，适合车规 / 高可靠产品

5、扩散盖帽层（Capping Layer）

配合 NDG-2000 等介质使用，形成稳定扩散保护体系

保证掺杂精度、提升良率

6、科研 / 小批量流片（MPW）

液态旋涂，无需剧毒源、无需 CVD/PVD 设备

快速做 P 型掺杂、扩散工艺验证

一、产品基本信息

产品全称：Spin-on-Glass Zn-640HP

核心组分：Si、Zn、O

产品定位：高纯高浓度锌掺杂旋涂玻璃（掺杂源 + 扩散阻挡层）

生产厂商：Desert Silicon, Inc.

二、关键性能参数

表格

参数项 数值 / 规格

锌原子浓度 4×1021 atoms/cm3

粘度 0.9 cps

折射率 1.5

旋涂成膜厚度 1800 ? @3000 rpm

20℃保质期 3 个月

4℃保质期 9 个月

纯度等级 <1 ppm 或 <50 ppb

三、产品核心优势

双重功能：既是锌掺杂源，又是扩散阻挡层，防止基底掺杂锌外逸

浓度精准可控：最终目标锌掺杂浓度稳定在5×101? ~ 5×101? atoms/cm3

成膜均匀：涂层一致性优异，保证扩散均匀性与工艺重复性

超高纯度：杂质含量≤1ppm/50ppb，满足高端半导体制程要求

低熔点：熔点低于纯氧化硅，工艺兼容性更强

四、典型应用说明

核心用途：化合物半导体P 型锌扩散掺杂工艺

工作机制

表面提供4×1021 atoms/cm3高浓度锌源

扩散过程中消除浓度梯度

阻挡锌从表面逸出，保障掺杂效率与浓度均匀性

配套工艺：可搭配NDG-2000硅酸盐覆盖层协同使用

适用场景：LED、光电器件、功率器件等 P 型区制备

五、包装与配套方案

包装规格：240ml、500ml、1L、2.5L、4L

替代产品：NDG-2000

可添加元素：As、Sb、Bi，支持化合物半导体定制化需求

六、免责与安全提示

文档不提供任何明示或暗示担保；用户需自行验证产品适用性；健康安全信息请查阅MSDS文件。

4. 关键问题

问题：Zn-640HP 的核心功能是什么，可控制的最终锌掺杂浓度范围是多少？

答案：核心功能为锌掺杂源 + 扩散阻挡层，可防止锌逸出并消除浓度梯度；最终目标锌掺杂浓度为5×101? ~ 5×101? atoms/cm3。

问题：Zn-640HP 的旋涂成膜条件、锌源浓度及关键光学参数分别是什么？

答案：3000rpm旋涂形成1800?厚薄膜；锌源浓度为4×1021 atoms/cm3；折射率为1.5，粘度为0.9cps。

问题：Zn-640HP 在扩散工艺中为何需要搭配覆盖层，可添加哪些改性元素？

答案：高浓度锌靠近表面易外逸，覆盖层可进一步抑制掺杂剂损失；可添加As、Sb、Bi等元素用于化合物半导体定制。