SOG Ti-140（钛掺杂旋涂玻璃）
钛掺杂旋涂玻璃（Ti?140）是高介电常数、高折射率低温旋涂材料，主要用于半导体高密度电容介质、光电器件光学匹配、晶圆白色标记、紫外防护及层间绝缘。
核心应用场景：
1、半导体高密度电容器介质层（最核心用途） 许总：15220133370
MIM 电容、MOS 电容、层间电容、射频电容
高介电常数 k=40，大幅提升电容密度、降低面积
2、光学器件匹配与波导包覆
高折射率（2.04）用于光输入 / 输出耦合
光波导、透镜匹配层、光学包覆层、减反膜
3、晶圆标记与工艺标识
可形成白色涂层，用于晶圆区域标记、边界区分、散射层
不影响光刻与后续制程
4、紫外（UV）吸收保护涂层
吸收紫外光，保护光敏器件、光刻区、光电芯片
用于紫外敏感传感器、光学组件防护
5、层间绝缘与平坦化
半导体、MEMS 器件层间绝缘、沟槽填充、表面平坦化
低温旋涂，兼容热敏结构
6、晶圆键合中介层
提升键合强度、均匀性与界面密封性
适用于硅片及化合物半导体晶圆键合
7、光电器件与化合物半导体
LED、光电二极管、探测器的光学匹配 + 绝缘
GaN、GaAs、SiC 功率 / 射频器件配套介质
一、产品基本信息
产品全称：SOG Ti-140（钛掺杂旋涂玻璃）
核心组分：Ti、Si、O
二氧化钛含量：52 wt%
生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、关键性能参数
表格
参数项 数值 / 规格
TiO?含量 52 wt%
介电常数 40
计算折射率 (RI) 2.04
粘度 0.90 ± 0.25 cps
保质期 (20℃) 3 个月
保质期 (4℃) 9 个月
三、产品核心优势
优异的电容器层间介质：高介电常数与绝缘强度，适合高密度电容制备
涂层均匀性好：成膜一致性优异，满足半导体制程要求
高折射率：可匹配半导体光输入 / 输出器件，用于光学耦合与包覆层
白色涂层：可用于晶圆标记或光散射场景
紫外吸收：适用于对紫外敏感的关键器件防护
四、典型应用说明
半导体电容器：依托高介电常数与绝缘强度，用于各类电容结构
光电器件耦合：高折射率适配光输入 / 输出接口，制作波导与包覆层
晶圆标记：工艺可调，形成白色边界与标识
紫外防护：吸收紫外光，保护光敏器件与结构
五、包装与配套方案
包装规格：240ml、500ml、1L、4L
替代产品：Ti-452
可添加元素：钇 (Y)、锆 (Zr)、铪 (Hf)、铌 (Nb)，支持多元素复配
适用场景：化合物半导体等定制化需求
六、免责与安全提示
文档信息不提供任何明示或暗示担保；用户需自行验证适用性；健康安全信息请查阅MSDS文件。
4. 关键问题
问题：Ti-140 的 TiO?含量、介电常数与折射率分别是多少？
答案：TiO?含量为52 wt%，介电常数为40，计算折射率为2.04。
问题：Ti-140 的核心优势与主要应用场景有哪些？
答案：核心优势为高介电常数、高绝缘强度、高折射率、白色涂层、紫外吸收；主要用于半导体电容器介质、光电器件光学匹配、晶圆标记、紫外防护。
问题：Ti-140 可添加哪些元素进行改性，替代产品是什么？
答案：可添加钇 (Y)、锆 (Zr)、铪 (Hf)、铌 (Nb)元素改性；替代产品为Ti-452。
