NDG-800是 Desert Silicon 推出的非掺杂氧化硅旋涂玻璃,核心成分为Si、O,4000rpm旋涂可形成800?(80nm)薄膜,20℃保质期 3 个月、4℃9 个月,250℃起始固化、600℃及以上致密化,具备低温成膜、高纯度、涂覆均匀、易复配元素等优势,主要用于半导体氧化硅涂层、键合、防腐及低折射率减反膜场景。
一、产品基本信息
- 产品全称:Spin-on Glass NDG-800
- 产品类型:非掺杂氧化硅旋涂玻璃液态源
- 生产厂商:Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目
关键信息
核心元素
Si、O(纯 SiO?体系)
折射率
1.45
介电常数
3.0
粘度
0.90 ± 0.15 cps
旋涂厚度
800 ?(80 nm)(4000 rpm)
固化温度
250℃ 起始,600℃及以上致密
保质期
20℃:3 个月;4℃:9 个月
三、产品优势
- 简易氧化硅层制备,工艺简单易用
- 低温成膜,兼容敏感工艺
- 维护与使用成本更低
- 涂层均匀性优异
- 基础配方易于复配其他元素实现改性
- 工艺稳定,不受流量影响
四、典型应用
- 核心用途:非掺杂氧化硅(SiO?)涂层
- 工艺特性:250℃烘烤形成低密度膜;600℃以上持续致密化;建议烘烤温度不低于后续工艺温度
- 适用场景:键合工艺、器件防腐保护、低折射率减反射涂层
- 特性:氧化硅膜熔点高,可添加元素降低熔点或调整折射率
五、包装、替代与可添加元素
- 包装规格:240ml、500ml、1L、2.5L、4L
- 替代产品:NDG-1000、NDG-2000、NDG-5000
- 可添加元素:Pb、Ge、Bi、Sn,支持多元素复配与化合物半导体专用配方
六、免责与安全提示
- 文档信息不提供任何明示或暗示担保
- 用户需自行验证适用性并承担使用风险
- 健康安全信息请查阅MSDS文件
4. 关键问题
- 问题:NDG-800 的成膜条件、厚度与固化温度区间是什么?
答案:在4000rpm旋涂可形成 800?(80nm) 薄膜;250℃ 开始固化,600℃及以上进一步致密化。
- 问题:NDG-800 的产品定位、核心优势与典型应用有哪些?
答案:定位非掺杂氧化硅旋涂玻璃;优势为低温成膜、低成本、涂覆均匀、易复配;可用于氧化硅涂层、键合、防腐、减反膜。
- 问题:NDG-800 的保质期、可改性元素与替代产品是什么?
答案:20℃保质期3
个月,4℃9 个月;可添加Pb、Ge、Bi、Sn等元素改性;替代产品为NDG-1000/2000/5000。

