一、产品基本信息
- 产品全称:Spin-on-Glass B-750HP
- 产品类型:硼掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源
- 生产厂商:Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目
关键数值
目标元素
Si、O、B
硼原子浓度
3.5×101? atoms/cm3
薄膜核心元素
硼(Boron)
粘度
1.0 cps
折射率(n)
1.46
旋涂厚度
1800 ?(3000
rpm)
固化起始温度
200℃
强化温度
650℃及以上
保质期
20℃:3 个月;4℃:9 个月
三、产品优势
- 实现轻浓度硼掺杂
- 工艺简化,仅需一根推入管
- 维护与使用成本更低
- 采用高纯度材料,达低 PPB 级别
- 成膜均匀
- 熔点低于纯氧化硅
- 工艺稳定,不受流量影响
四、典型应用
- 应用领域:半导体掺杂、太阳能电池背接触
- 工艺特性:200℃开始固化形成低密度固态膜;升温至 650℃以上,膜层强度持续提升;建议按后续工艺最高温度烘烤;掺杂完成后玻璃层可去除
- 工艺优势:玻璃态硼比固态源更易、更洁净地推入,可实现更高掺杂浓度
五、包装、替代与可添加元素
- 包装规格:240ml、500ml、1L、2.5L、4L
- 替代产品:B-1000、B-1200、B-1500
- 可添加元素:Al、Ga、In,支持多元素复配;硅掺杂与化合物半导体掺杂专用元素可选
六、免责与安全提示
- 文档信息不提供任何明示或暗示担保
- 用户需自行验证适用性并承担使用风险
- 健康安全信息请查阅MSDS文件
4. 关键问题
- 问题:B-750HP 的核心掺杂元素、浓度与成膜条件是什么?
答案:核心掺杂元素为硼(B),浓度3.5×101? atoms/cm3;3000rpm旋涂可形成1800?厚薄膜。
- 问题:B-750HP 的固化温度区间、应用场景与工艺优势是什么?
答案:200℃开始固化,650℃以上强化;用于半导体与太阳能背接触;优势是比固态源更洁净、易推入、可实现更高浓度。
- 问题:B-750HP 的核心优势、保质期与替代产品有哪些?
答案:优势为轻掺杂、低成本、高纯度、工艺稳定;20℃保质期3 个月、4℃9 个月;替代产品为B-1000、B-1200、B-1500。

