- 产品全称：Spin-on-Glass As-200
- 产品类型：砷掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态材料
- 生产厂商：Desert Silicon,
Inc.
二、核心成分与含量
表格
项目
关键信息
目标元素
Si、O、As
砷原子浓度
4×1021
atoms/cm3
薄膜核心元素
砷（Arsenic）
三、关键物理与工艺参数
表格
参数项
数值 / 条件
粘度
1.1
cps
折射率（635nm）
1.49
旋涂成膜厚度
250
nm（3000 rpm）
固化起始温度
200℃
致密化温度
650℃及以上
纯度等级
<1
ppm 或 <50 ppb
保质期
20℃：3 个月；4℃：9 个月
四、产品优势
- 提供中等浓度砷掺杂能力
- 成膜均匀
- 采用高纯度原料
- 工艺稳定，不受流量影响
- 可提供 <1 ppm 或 <50 ppb 超高纯度规格
五、典型应用
- 应用领域：半导体掺杂
- 工艺特性：200℃开始固化形成低密度固态薄膜；烘烤至 650℃以上，薄膜密度持续提升；掺杂完成后玻璃层可去除。
六、规格与替代方案
- 包装规格：240ml、500ml、1L、2.5L、4L
- 替代产品：As-300
- 可添加元素：Sb、Bi，支持多元素复配与化合物半导体专用配方
七、免责与安全提示
- 文档信息不提供任何明示或暗示担保
- 用户需自行验证产品适用性，承担使用风险
- 健康与安全信息请查阅MSDS文件
4. 关键问题
- 问题：As-200 的核心成分、旋涂成膜参数与固化温度区间是什么？
答案：核心成分为Si、O、As；3000rpm 旋涂可形成250nm厚薄膜；200℃ 开始固化，650℃及以上可提升薄膜致密性。
- 问题：As-200 的保质期、纯度等级与核心优势有哪些？
答案：20℃保质期3 个月，4℃保质期9 个月；纯度可达 <1ppm 或 < 50ppb；核心优势为中等砷掺杂、成膜均匀、高纯度、工艺稳定。
- 问题：As-200 的应用场景、工艺要点与可定制方案是什么？
答案：用于半导体掺杂，掺杂后玻璃层可去除；可添加Sb、Bi元素，支持多元素复配，替代产品为 As-300。
