纳米复合结构高折射率光刻胶HighRI-Nano2.0
HighRI-Nano2.0 是纳米复合体系、折射率 n=2.0 的紫外固化光刻胶,专为紫外纳米压印设计,超高折射率、高透明、低固化剂量,广泛用于 AR/VR 光栅、光波导、超构表面、光子晶体与高性能光电器件制造。
核心应用场景
1、紫外纳米压印光刻(UV-NIL)(最核心) 许总:15220133370
纳米光栅、光子晶体、超构表面、耦合结构
可见光 / 近红外高精度纳米光学元件
折射率 2.0 实现更强光束缚、更高效率
2、AR/VR 衍射光波导
耦合输入 / 输出光栅、出瞳扩展 EPE 光栅
高折射率提升衍射效率、缩小器件体积
3、可见光 / 近红外高 RI 光波导
高折射率波导、微环谐振器、滤波器
小曲率、高集成度光子回路
4、光子集成芯片(PIC)
模场转换器、耦合层、光斑整形结构
与 Si/SiN 光芯片折射率匹配更好
5、LED/PD 光提取 / 光耦合层
高折射率增透 / 出光结构,提升光效
纳米压印批量成型,一致性高
6、超构表面、超材料、元光学器件
平面透镜、偏振调控、波束成形
高折射率带来更强场局域与调控能力
7、生物传感与微流控光学芯片
等离子体传感、光栅传感、表面增强结构
高透明、化学稳定、纳米精度高
8、科研:超高折射率光学原型
高校 / 研究所研发n≈2.0 纳米光学器件
旋涂简单、固化超快、成型精度高
一、产品基础信息
HighRI-Nano2.0是 HighRI Optics 公司推出的纳米复合紫外固化光刻胶,专为紫外纳米压印光刻(UV-NIL) 开发,用于制备高精度微纳光学结构。
二、核心性能参数
表格
项目 关键指标
化学类型 丙烯酸酯(Acrylates)
折射率 @590nm 2.0
外观 液态
溶剂 环戊酮(Cyclopentanone)
固化方式 紫外光固化
固化条件 365nm,2.5J/cm2
400nm 透过率 >90%(1μm 厚膜)
涂布方式 旋涂(Spin coating)
纳米压印能力 支持(Yes)
三、材料组成
体系:纳米复合材料
成分:纳米晶体 + 聚合物粘结剂
优势:实现折射率 2.0的同时保持良好加工性与透明性
四、工艺与使用要点
涂布方式:标准旋涂工艺
固化条件
波长:365nm
能量:2.5J/cm2(低剂量快速固化)
存储要求:必须冷藏保存
固化注意:氧气会抑制表面固化,建议惰性气氛
成型能力:可实现纳米光栅等高精度微纳结构(附 SEM 截面图)
五、光学特性
折射率:590nm 处达到 2.0,可见光区保持高折射率水平
透光性:1μm 厚膜在 400nm 处透过率>90%
适用于可见光 / 近红外高性能光学元件
4. 关键问题
问题:HighRI-Nano2.0 的核心材料体系与折射率是多少?
答案:核心为纳米晶体 + 聚合物粘结剂的纳米复合材料,590nm 波长下折射率为 2.0。
问题:该材料的标准固化条件是什么,有何工艺优势?
答案:固化条件为365nm 紫外光、2.5J/cm2;优势是固化剂量极低、固化速度快,适合量产与高效压印。
问题:使用 HighRI-Nano2.0 必须注意哪两个关键事项,为什么?
答案:① 必须冷藏保存,保证材料稳定性;② 氧气抑制表面固化,会导致表面发粘,因此固化需在惰性环境下进行。

