硼掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源（Spin-on-Glass B 1500HP）
B 1500HP是 Desert Silicon 公司推出的高浓度硼掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源，核心含Si、O、B，硼原子浓度达7.2E+21 atoms/cm3，3000rpm旋涂成膜厚度6600?，150–200℃起始固化、650℃以上致密强化，粘度1.2cps，20℃保质期 3 个月、4℃9 个月，具备高纯度、低成本、工艺稳定等优势，面向半导体掺杂场景，掺杂后玻璃层可去除。
一、产品基本信息
? 产品全称：?Spin-on-Glass B 1500HP
产品类型：硼掺杂硅酸盐旋涂玻璃液态源
? 生产厂商：Desert Silicon, Inc.
二、核心成分与关键参数
表格
项目 关键信息
目标元素 Si、O、B
硼原子浓度 7.2×1021 atoms/cm3
薄膜核心元素 硼（Boron）
粘度 1.2 cps
旋涂成膜厚度 6600 ?（3000 rpm）
固化温度 150–200℃ 起始，650℃及以上致密
保质期 20℃：3 个月；4℃：9 个月
纯度等级 低 PPB 级别
三、产品优势
1. 实现高浓度硼掺杂
2. 工艺简化，仅需一根推入管
3. 维护与使用成本更低
4. 采用高纯度材料，达低 PPB 级
5. 成膜均匀
6. 熔点低于纯氧化硅
7. 工艺稳定，不受流量影响
四、典型应用
? 应用领域：半导体掺杂
? 工艺特性：150–200℃固化形成低密度固态膜；升温至 650℃以上，膜层密度持续提升；建议按后续工艺温度烘烤；掺杂完成后玻璃层可去除
? 工艺优势：玻璃态硼比固态源更易加工、更洁净
五、包装、替代与可添加元素
? 包装规格：240ml（8oz）、480ml（16oz），支持大批量定制包装
? 替代产品：B 1000、B 1500
? 可添加 P 型元素：Al、Ga、In，支持多元素复配，兼容化合物半导体掺杂
六、免责与安全提示
? 文档信息不提供任何明示或暗示担保
? 用户需自行验证适用性并承担使用风险
? 健康安全信息请查阅MSDS文件
________________________________________
4. 关键问题
1. 问题：B 1500HP 的掺杂浓度、成膜厚度与转速条件是什么？
答案：硼浓度为7.2×1021 atoms/cm3；在3000 rpm旋涂条件下，可形成6600 ?厚的固化薄膜。
2. 问题：B 1500HP 的固化温度区间与核心工艺优势是什么？
答案：150–200℃开始固化，650℃以上进一步致密；核心优势是玻璃态硼比固态源更易加工、更洁净，且仅需单根推入管。
3. 问题：B 1500HP 的产品定位、包装与可兼容掺杂元素有哪些？
答案：定位高浓度硼掺杂；包装为240ml、480ml及大包装；可添加Al、Ga、In等 P 型元素并支持多元素复配。
